十的负六次方到1帕。”陈婉清道，随后又补了一句：
“准备工作都好了，开始抽真空吧。”
许点点头，按下机械泵的启动键，同时打开超真空挡板阀，又是一阵轰鸣声传来。
“蒸镀操作的噪音有点大啊。”习惯了之前安静实验环境的许，忍不住吐槽道。
“是啊，不过慢慢你就会适应的。”陈婉清道。
机械泵启动后，气压计的示数快速减小。
从10e5，迅速变为32e4，然后是89e3，直至1e3帕左右，下降速度才开始变慢。
过了两分钟左右，压强终于降至20帕以下，许关闭超真空挡板阀，打开分子泵。
分子泵的转速要从0逐渐加速至2后，它才可以正常工作，约需要耗时10分钟。
待分子泵运转平稳后，许打开束源炉挡板，然后启动束源炉的升温控制装置。
装置的屏幕上显示有束源炉当前温度和设定温度，分别为27和30摄氏度。
他打开设定界面。
这块屏幕采用的是计算器上那种“日”字型的显示方法，主要用于数字显示，所以显示出来的字母都很抽象。
还好都是常用的单词，许花了点时间弄明白每个参数的意义后，手动设定升温程序：
sp130
rate30
ti60
sp2400
rate30
ti3
sp3520
rate20
ti100
第一阶
第二十一章 真空镀膜（下）(2/6)