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392 为科学献身的时候到了
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    蒸镀舱的真空度达标后,许和莫琳又回到实验室,先按照正常的方法用束源炉加热法蒸镀了三氧化钼。

    之后等待束源炉温度降低至100摄氏度以下,开始准备蒸镀金属电极。

    平常蒸镀厚膜金属电极的时候,蒸镀的速率并不是很重要,有的时候赶时间,还会直接用闪蒸的操作方式制备电极。

    所谓闪蒸,突出一个字“闪”,就是直接用大电流,在不烧断保险丝的前提下,把蒸镀速率拉满,嗖的一下就把膜给镀好了。

    对比一下,正常蒸金属电极是大约1埃每秒,即01纳米每秒的蒸镀速率,蒸100纳米需要大约17分钟。

    而闪蒸的速率可能会达到6埃每秒,甚至10埃每秒以上,直接几分钟就能搞定。

    除了蒸的快,闪蒸还有另外一个优点,那就是蒸的厚,对靶材的利用率高。

    尤其是平常在蒸镀金的时候,因为金比较贵嘛,所以为了防止浪费,都是尽量少加金靶材,然后直接闪蒸的。

    根据许的经验,如果闪蒸把金全部蒸完,得到的金膜厚度是100纳米的话,正常速率蒸镀得到的厚度可能就只有30-50纳米,差距还是非常大的。

    凡事有利就有弊,闪蒸也是有缺点的,那就是会让蒸镀得到的薄膜变得不均匀。

    举一个不太形象的例子,可以把蒸镀的过程想象下冰雹的过程,器件表面想象成为泥土地面,蒸镀速率越快,冰雹颗粒越大,下的速度越快,就更容易把地面给砸出坑来。

    对应在蒸镀过程的体现,就是蒸镀速率越快,靶材分子越会倾向于渗入有效层或者传输层薄膜,从

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