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1991从芯开始

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第209章 陈建国的决心
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光罩厂。”

    光罩,也叫光掩膜版,英文名字叫mask。是一种由石英为材料制成的,可以用在半导体曝光制程上的母版。从芯片生产程序来说,它属于前期工序。

    而这种从光罩母版的图形转换到晶圆上的过程,就像印钞机工作一样。

    我们可以把光刻机想象成印钞机,把钞票母版的图形印到纸张上的过程,就像光刻机把芯片图形印到晶圆上一样,都需要有母版,这个母版在半导体制造上就是光罩。

    为了制造一款芯片需要几百道工序,光罩也是不只一张的,原则上,工艺制程精度越高,需要的光罩数量也就越多。

    譬如在后世,在14nm工艺制程上,大约需要60张光罩,7nm可能需要80张光罩甚至更多。

    当然光罩的品质要求也是不同的,对于某些对精度要求很高的工序,相对应的光罩对精度的要求时最高的,比如晶体管相关的光罩,而对精度要求不那么高的工艺,比如pad(打线孔)等要求就低一些? 光罩价格也便宜一些。

    先进制程对光罩精度的要求越来越高? 同时不能有缺陷,所以光罩制造后的检查也很重要。

    (注:上面对光罩的解释? 引用的是全芯智造技术有限公司 bd总监韩明的知乎回答节选? 在此致谢——我自己没组织语言和加工是因为他说得太清楚了……)

    因为光罩厂的生产工艺工序复杂,同时制程精度越高? 需要的时间也就越长,因此它并不是一个晶圆厂的必备车间——因为晶圆厂完全可以委托其他光罩厂进行掩膜版制作? 同时它还可以制造其他行业所需要的光罩。

 

第209章 陈建国的决心(2/9)
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