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重写科技格局

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第一百五十九章 生根发芽
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要求的,比如光源质量。

    9点整,实验准备开始,孟谦则继续翻看徐国华的笔记本。

    徐国华的笔记本上记录的不仅仅只是他的经历,他之所以跟孟谦说看看自己的笔记本能不能帮到自己,是因为上面还记录着他这么多年的技术积累。

    就比如他参与到公司光刻机项目之后之后...

    “2001年9月19日

    提升光刻机分辨率的方法有三个,缩短波长,增加数值孔径,减小k1因子。前段时间,江大带来的浸没式光刻机概念,可以大大提升折射率,从而增加数值孔径。

    为了更好的配合全新的浸没式光刻机概念,我们与长光所合作,在激光器上实现了巨大突破。

    我们研发了一种高功率193nm准分子激光器,使用氟气、氩气以及氦气混合气体作为工作介质,可输出arf最大脉冲激光能量424毫焦耳,总功率基本稳定在1%。激光器由内径8.4cm的玻璃钢圆筒做成,总长94cm。

    电极采用张氏均匀场型面电极,电极有效平取宽5mm,电极长80cm,两电极之间距离2.1cm。”

    此时的长春实验室。

    “王院士,供电系统已经准备完毕。”

    “开始实验。”

    ...

    “2001年11月17日,晴。

    王院士的加入让团队信心大增,30多名科研人员连续攻坚一个月,终于在光束稳定技术上取得了成果。

    此次的光束稳定系统包括光束测量和光束转向两大核心功能模块,在推导了两个模块之间的光束传递矩阵

第一百五十九章 生根发芽(2/7)
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