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第二十一章 真空镀膜(下)
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    空气泵发出一声巨响,随后传来“咣咣咣”的声响。

    许吓的一激灵,朝后缩了一下身子。

    等了一会儿,他感觉没什么危险,便上前检查空气泵。

    “看着没有问题啊。”他向学姐道。

    “确实没问题,这是正常情况。现在是发动机在通过曲轴,驱动活塞向储气筒内打气,等到储满气后,就会自动停下。”

    陈婉清试图绷住脸上的笑容,但是没有成功,还是笑了出来。

    “学姐你是故意的吧。”许做出一副愤慨的样子。

    “怎么会呢,我是那样的人嘛。”陈婉清笑道。

    许摇了摇头,回到总控台,继续实验。

    他打开总控开关,膜厚仪的数显屏幕亮起。

    许先检查膜厚仪的参数是否设置正确,包括靶材名称、密度和z因数等。

    膜厚仪的原理并不是直接测量膜厚,而是通过间接法计算得到。

    在蒸镀过程,靶材分子到达晶振片处,会产生电信号,经过拟合计算可将电信号转化为蒸镀速率,最后将速率与时间相乘得到膜厚。

    调好膜厚仪后,数显屏幕上显示:

    蒸镀材料为钙,速率为000埃每秒,膜厚为000埃。

    同时,许观察到总控台上面有两个气压计,可以实时监测蒸镀舱内的压强。

    其一个示数为一个大气压,即10e5帕,另外一个则处于未工作状态。

    “为什么要安装两个气压计呢?”许疑惑道。

    “两者的压强测定范围不同,前者约为01到10000帕,后者约为

第二十一章 真空镀膜(下)(1/6)
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