返回

我有科研辅助系统

首页
关灯
护眼
字体:
465 连续突破,剑指17%!
   存书签 书架管理 返回目录
io等肯定会有所残留。

    因此,许认为“放置变好”、“放置变差”、“放置不变”这些实验现象,背后可以归因于:

    在蒸镀舱的真空环境下,器件内残存溶剂挥发对有效层形貌的影响。

    对于氯苯、dio这些溶剂来说,它们在常温常压的条件下不容易挥发。

    而在常温低压的条件下,就会逐渐从器件有效层“跑出来”,扩散到外界的真空氛围。

    溶剂挥发的过程,是需要一定时间的。

    正常蒸镀的过程持续时间只有2小时左右,不足以让有效层内部的残留溶剂完全挥发。

    现在把这个时间额外延长3小时以上,就可以让溶剂近乎完全挥发。

    溶剂挥发的过程,也将伴随着有效层显微形貌的改变。

    如果这个影响是正面的,反应出来的结果就是“放置变好”,反之,就是“放置变差”。

    在经过退火操作的器件,因为有效层内残留的溶剂较少,所以可以认为不存在溶剂挥发这个过程。

    因此,额外的放置时间对于经由退火处理的器件性能的影响并不大。

    可能长时间放置也会有变化,但在短时间内的表现就是“放置不变”。

    当然,这些都是许提出的观点,具体对不对,只能通过不断的实验来检验。

    不过,他自我感觉这套理论没什么问题,至少现阶段的实验结果,是支持他这些推论的。

    许决定之后把“真空放置”这个实验操作,与热退火、溶剂退火等并列为一种对加工工艺进行优化的方式。

    具体操作起来,可以

465 连续突破,剑指17%!(9/11)
上一页 目录 下一页