返回

我有科研辅助系统

首页
关灯
护眼
字体:
475 比自己弱的人都在努力,自己又有什么理由不努力呢?
   存书签 书架管理 返回目录

    背后的原因,许很快就找到了,主要是因为蒸镀检测膜厚的原理是间接法——

    在蒸镀过程,蒸镀舱间有一个晶振片,靶材分子受热从下方的束源炉或者电加热装置扩散出来,沉积到晶振片上,形成实时的电流信号,仪器将电流信号转化为蒸镀速率信号,然后通过积分计算出实时膜厚。

    受到重力的影响,晶振片距离束源炉或者电加热装置垂直距离越远,单位时间内收集到的扩散出来的靶材分子数量就越少。

    如果晶振片的位置偏向标准位置的下方,也就是靠近束源炉或者电加热装置,就会导致检测到的蒸镀速率大于实际的蒸镀速率,从而使得实际膜厚偏薄。

    很容易理解,假如实际蒸镀速率是02埃每秒,显示蒸镀速率是04埃每秒,预期蒸镀膜厚是20埃,蒸镀50秒后,按照仪器显示的话,就已经达到了20埃的厚度,但实际上的厚度却只有10埃。

    反之亦然。

    因此,当下的情况就是在搬运的过程,可能发生了震动,使得晶振片的位置偏向了标准位置的上方。

    出现了问题,就要调整。

    现在主要有两种调整方法。

    第一种是直接把晶振装置安装到原来的标准位置。

    这种方法听起来很简单,但实际上操作起来很麻烦,需要消耗大量的时间去调整、摸索。

    首先需要调整一次,蒸镀一次,然后用se或其他手段表征测试一次实际厚度,看是否和预测膜厚相符合。

    如果符合,就说明调整好了,但一发入魂的概率很低。

    大概率是很难一次弄好,

475 比自己弱的人都在努力,自己又有什么理由不努力呢?(3/12)
上一页 目录 下一页