更清楚。
“那我简单跟孟总介绍一下吧”何文康同样上前两步先指了指设备最边上的一个椭圆形的东西，“这是激光器，边上这个是能量控制器，下面是光束矫正器，就这三个东西控制着光源的第一步输入，这一环节最重要的，是稳定。
但就是一个稳定，我们华夏这么多年就是控制不好，孟总知道为什么么？”
孟谦摇了摇头。
“那孟总知道这么一台光刻机一天的耗电量么？”
孟谦再次摇了摇头。
何文康看了一眼激光器道，“一万度电起步。”
孟谦稍惊了一下，他后世确实没了解的这么细，这一世又一直在了解更上游的东西，“是因为能量转换率的问题吧？”
“是的。”何文康冲着孟谦点了点头，“光刻机的能量转换率平均值还不到千分之一。
所以如何保证一个长时间内持续稳定的高功率输出，这是光源输入的第一个稳，第二个稳在于，如何提升能量稳定以提升良品率，要知道，最终的能量一旦出现一点极小的误差，都会影响到良品率，最后一个稳，也是最基本的稳，如何通过设备稳定来降低用电量。
一个表现优异的激光器和能量转换器，它会影响企业的电力成本以及产品的良品率。”
“一个拥有三四台光刻机的晶圆厂，每年光电费就要上千万...”孟谦下意识的接了一句。
“目前市面上设备的优劣可以带来的用电差距，高达两倍。”何文康往右边走了几步，“从能量控制器出来的能量会进入光束形状设置装置，不同的光束会带来不同的光学效果。
第八十九章 光刻机(2/6)