再过去就是能量探测器了，刚才我也说了，能量的误差会直接影响到良品率，所以这里算是对能量的二次确认，能量探测器下面那个东西叫掩模版，这东西本质上就是一个刻着芯片线路的玻璃，类似于相机的底片。
但就这么一块破玻璃，孟总猜猜看多少钱？”
孟谦想了想道，“何总直接说答案吧。”
何文康淡淡一笑，“一块破玻璃，一百万。”
说完，何文康示意孟谦向右走两步，“掩模版下面这一块就是最重要的东西了，物镜，孟总可以数一数，这里总共有20多块镜片，通过这20多块镜片，将掩膜版上的电路图按比例缩小，再被激光映射到硅片上，同时物镜还要补偿各种光学误差。
这个东西，孟总也很清楚，咱们搞不定。
下面这两个平台是测量台和曝光台，正常流程，先测量，再曝光，整个测量台的精度是纳米级的，差1纳米都不行，我们用的自动调焦系统，是米国人设计的。
好了，这就是一台从表面上能看到的光刻机，但技术却不仅只是这些，就比如看到这里的传输带了么，这是传输系统，同样是纳米级的，而且加速系统是航空水平，整个光刻机还需要减震系统，环境控制系统，整机控制系统，自动化操作系统等等。
这就是光刻机，一个把它模块化之后，每一个模块的难度都是一个缩小版光刻机的东西。”
何文康突然有点自言自语的感觉，也不知道这话到底是说给孟谦听的还是说给自己听的。
两人同时在光刻机前沉默驻足，各自有各自的思考。
何文康在回忆自己过
第八十九章 光刻机(3/6)