“业内,普遍有一种认知,如果不早点推出极紫外光刻技术,来对当前的芯片制造方法做出全面的改进,将使整个芯片工业处在岌岌可危的地步。”
“所以,其实新时代的节点,变革点,已经能够清晰的预见。”
“极端紫外光刻技术所使用的光刻机的对准套刻精度要达到10nm,其研发和制造原理实际上和传统的光学光刻在原理上十分相似。”
“对光刻机的研究重点,是要求定位要极其快速精密,以及逐场调平调焦技术。因为光刻机在工作时拼接图形,和步进式扫描曝光的次数很多。不仅如此,入射对准光波信号的采集,以及处理问题还需要解决。”
“euv技术的进展还是比较缓慢的,投资巨大。当前,其实没有几家厂商,能够将这项技术应用于生产中。唯一的asml公司,做出来的东西,也仅仅算是勉强能用。”
“各家厂商都清楚,半导体工艺向往下刻,使用euv技术是必须的。波长越短,频率越高,光的能量正比于频率,反比于波长。”
“但是因为频率过高,传统的光溶胶直接就被打穿了。现在,半导体工艺的发展已经被许多物理学科从各个方面制约了。”
“现在的问题的是,第一,euv光刻机造价太高,好几千万优元。”
“第二,没有真正合适的光源。”
“第三,没有合适的掩模。第四,未研发出合适的光刻胶!”
“所以,我是打算,咱们可以在光源上,琢磨琢磨。”
说道这里,辛启天颇有些意犹未尽舔了下嘴角,眼神放光的说道:“其实如
第345章 ?首要目标(3/8)